Gambaran Keseluruhan Produk
Sasaran sputtering titanium planar dihasilkan daripada induksi vakum cair dan jongkong titanium yang diproses secara termomekanik. Dicipta untuk konfigurasi sputtering magnetron DC dan RF, sasaran rata ini memberikan pemendapan filem nipis yang stabil dan seragam-merentasi garisan fabrikasi semikonduktor, ruang salutan optik dan sistem PVD industri. Struktur mikro terkawal memastikan kadar hakisan sasaran yang konsisten, hasil sputtering yang boleh diramal dan penjanaan zarah yang minimum semasa larian kuasa-tinggi yang dilanjutkan.
Spesifikasi Teknikal
|
Parameter |
Julat Spesifikasi |
|
Kesucian Bahan |
99.9% (3N) hingga 99.999% (5N) |
|
Dimensi Standard |
Segi empat tepat: Panjang sehingga 3000 mm; Pekeliling: Diameter 50 mm hingga 450 mm |
|
Julat Ketebalan |
3 mm hingga 25 mm (Boleh Disesuaikan) |
|
Struktur mikro |
Saiz butiran halus < 100 μm dengan orientasi rawak seragam |
|
Ketumpatan |
$\ge$ 4.50 g/cm³ (>99.5% ketumpatan teori) |
|
Pilihan Ikatan |
Aloi Tidak Terikat (Monolitik) atau Indium / Elastomer / Cu-diikat pada plat sandaran Kuprum atau Aluminium OFHC |
Ciri-ciri Utama
Saiz Bijirin Terkawal:Taburan bijirin yang halus dan sama menekan pitting setempat dan mengurangkan pembentukan nodul sasaran semasa kitaran pemendapan yang berpanjangan.
Kekotoran Interstisial Rendah:Pencairan vakum mengekalkan had tahap ppm-yang ketat pada Oksigen, Nitrogen, Hidrogen dan Karbon untuk menghapuskan pencemaran filem.
Matriks Ketumpatan Tinggi:Struktur padat sepenuhnya menghilangkan mikroliang dalaman, menghalang-pearkaan mikro semasa-kadar tinggi proses sputtering reaktif.
Integriti Antara Muka Terma:Indium yang dioptimumkan atau ikatan resapan mengekalkan kekonduksian terma melebihi 120 W/mK, menghalang penyimpangan tegasan haba di bawah beban ketumpatan kuasa tinggi.
Aplikasi
Semikonduktor & Mikroelektronik:Lapisan penghalang, lapisan sesentuh, dan pemetaan antara sambungan dalam fabrikasi litar bersepadu.
Salutan Optik:Tindanan anti-pantulan (AR), penapis dielektrik dan lapisan oksida pengalir telus (TCO) untuk optik ketepatan.
Paparan Panel Rata:Elektrod konduktif dan lapisan penampan untuk talian pembuatan OLED dan LCD.
Kaca Seni Bina & Automotif:Kawalan suria dan salutan kaca seni bina-rendah (Rendah-E).
Pakai & Salutan Keras Hiasan:Salutan berfungsi titanium nitrida (TiN) dan titanium karbonitrida (TiCN) untuk alat pemotong, perkakasan industri dan komponen automotif.
Penyesuaian & Pembuatan
Pencairan & Pemprosesan Termomekanikal:Pencairan Semula Arka Vakum (VAR) dipasangkan dengan tempaan panas berbilang-paksi dan{1}}laluan bergolek untuk menghapuskan anisotropi mekanikal arah.
Pemesinan Ketepatan:Pengilangan CNC dan operasi pengisaran permukaan mencapai toleransi kerataan dalam +/- 0.1 mm dan kekasaran permukaan hingga Ra < 0.4 um.
Geometri Tersuai:Fabrikasi mengendalikan segi empat tepat, bulat, belah-segmen, langkah-sendi dan kontur tersuai dipetakan terus ke lukisan katod proprietari.
Kejuruteraan Plat Belakang:Reka bentuk tersuai dan fabrikasi plat sandaran tembaga atau aluminium OFHC yang menampilkan-saluran air penyejuk sejajar dengan ketepatan dan-alur pengedap cincin O.
Kawalan Kualiti & Pensijilan
Pengesahan Analisis:Glow Discharge Mass Spectrometry (GDMS) atau ICP-OES memperakui ketulenan pukal dan mengesan tahap kekotoran logam/interstisial.
Pemeriksaan Metalurgi:Mikroskopi optik dan Electron Backscatter Difraction (EBSD) mengesahkan keseragaman saiz butiran dan orientasi kristalografi.
Ujian Bukan{0}}Memusnahkan (NDT):Ujian imbasan C-ultrasonik mengesahkan 100% integriti ikatan, menjamin sifar poket tidak terikat melebihi diameter 3 mm.
Kebolehkesanan & Pematuhan Peraturan:Dihasilkan di bawah sistem pengurusan kualiti yang diperakui ISO 9001. Setiap lot pengeluaran dihantar dengan Sijil Analisis (CoA) terperinci yang terikat pada nombor haba jongkong tertentu, bersama RoHS, REACH dan Templat Pelaporan Mineral Konflik (CMRT) yang disahkan sepenuhnya.
Pembungkusan & Penghantaran
Pengedap Vakum Pelindung:Dikemas secara individu dalam-beg polietilena antistatik dan vakum-ditutup dalam nitrogen-persekitaran yang dibersihkan untuk mengelakkan pengoksidaan semasa transit.
Perlindungan Kesan:Dilindungi dengan sisipan buih ampaian polietilena berketumpatan tinggi-di dalam peti kayu gred-eksport untuk mengelakkan cipratan tepi, lenturan atau kerosakan permukaan.
Logistik Global:Penghantaran pengangkutan udara dan lautan antarabangsa yang diselaraskan disokong oleh dokumentasi pelepasan kastam yang lengkap.
Soalan Lazim
S: Apakah masa utama standard untuk sasaran titanium planar tersuai?
A: Dimensi katalog standard dihantar dalam masa 2 hingga 3 minggu. Konfigurasi tersuai yang memerlukan pas rolling khusus, pemesinan kompleks atau fabrikasi plat belakang khusus biasanya memerlukan 4 hingga 6 minggu.
S: Bagaimanakah integriti ikatan diuji dan disahkan sebelum dihantar?
J: Setiap sasaran terikat menjalani 100% ujian C-imbasan tanpa-ujian ultrasonik. Peta pemeriksaan mesti mengesahkan sifar kawasan antara muka tidak terikat melebihi ambang dalaman yang ketat, memastikan kestabilan terma di bawah beban operasi.
S: Apakah peringkat ketulenan yang perlu ditentukan untuk aplikasi optik vs semikonduktor?
J: Garisan salutan filem nipis optik{0}}umumnya beroperasi dengan cekap dengan ketulenan 99.9% (3N) hingga 99.95% (3.5N). Proses semikonduktor dan mikroelektronik lanjutan memerlukan gred ketulenan 99.995% (4N5) atau 99.999% (5N) untuk mengelakkan pencemaran logam berat dan alkali dalam lapisan peranti sensitif.
S: Adakah dokumen kawal selia dan pematuhan alam sekitar yang lengkap dibekalkan untuk audit korporat?
A: Ya. Dokumentasi yang komprehensif, termasuk pengisytiharan RoHS, kenyataan REACH SVHC dan laporan galian{1}}konflik CMRT, adalah standard dan disediakan atas permintaan atau dengan kertas kerja penghantaran.
S: Apakah faktor utama yang menyebabkan mikro-arcing semasa sputtering, dan bagaimanakah pembuatan menghalangnya?
J: Arka-mikro biasanya disebabkan oleh anomali ketumpatan setempat, liang mikro-gas atau kemasukan permukaan asing. Pencairan vakum terkawal, penempaan termomekanikal berbilang-langkah dan ujian ultrasonik yang ketat menghapuskan kecacatan dalaman untuk memastikan penjanaan plasma bebas arka-yang stabil.
S: Apakah format fail digital yang diterima untuk lukisan kejuruteraan tersuai?
A: Lukisan CAD dalam format STEP, IGES, DXF atau PDF yang memperincikan dimensi kritikal, toleransi, titik sentuhan elektrik dan konfigurasi saluran penyejukan diterima untuk semakan kejuruteraan segera.
Minta Sebut Harga
Serahkan spesifikasi teknikal atau lukisan kejuruteraan anda untuk menerima sebut harga komersial rasmi, laporan ujian bahan (MTR), pengesahan pematuhan dan masa petunjuk yang disahkan.
Parameter RFQ yang Diperlukan:Gred ketulenan bahan (cth, 99.995%), dimensi tepat (Panjang x Lebar x Tebal), status plat penyandar (tidak terikat vs. terikat dengan jenis bahan), dan anggaran volum perolehan tahunan atau kelompok.
Perhubungan Kejuruteraan & Jualan Langsung:[Masukkan E-mel / Pautan Borang Penyerahan RFQ]
Cool tags: sasaran sputtering planar titanium, sasaran sputtering planar titanium China pengeluar, pembekal, kilang