Gambaran Keseluruhan Produk
Sasaran Sputtering Titanium Tersuai berfungsi sebagai-bahan sumber ketulenan tinggi untuk sistem pemendapan wap fizikal (PVD). Dicipta untuk aplikasi salutan semikonduktor, optikal dan tahan haus-, sasaran ini diproses melalui peleburan aruhan vakum atau metalurgi serbuk, diikuti dengan pemprosesan mekanikal berbilang-termo-untuk mencapai struktur butiran yang halus dan sama. Tersedia dalam konfigurasi planar (segi empat tepat, bulat) dan boleh diputar, dipadankan dengan plat sokongan tembaga atau aluminium melalui ikatan logam.
Spesifikasi Teknikal
|
Parameter |
Julat Spesifikasi |
Kaedah Ujian & Rujukan Visual |
|
Kesucian Bahan |
99.9% (3N) kepada 99.995% (4N5) |
GDMS (Spektrometri Jisim Pelepasan Cahaya) • Lihat sampel sijil ujian GDMS: [Muat turun PDF / Lihat Laporan] |
|
Ketumpatan |
>= 4.50 g/cm^3 (>99.5% teori) |
Kaedah rendaman Archimedes |
|
Saiz Bijian Purata |
< 100 um (customizable to < 50 um) |
Mikroskop EBSD / Metalografik • Lihat imej struktur butiran mikroskopik: [Periksa Mikrograf SEM] |
|
Dimensi |
Diameter sehingga 400 mm (planar); Panjang sehingga 3500 mm (boleh diputar) |
Pengimbas laser CMM |
|
Plat Belakang |
Kuprum OFHC, Titanium Gred 2, Aloi aluminium |
Ujian ultrasonik untuk nisbah lompang bon |
|
Integriti Ikatan |
>95% liputan kawasan ikatan |
Imbasan C-ultrasonik • Lihat peta kecacatan imbasan-C: [Periksa Imbasan Ultrasonik] |
Ciri-ciri Utama
Struktur Mikro Seragam:Laluan termomekanikal terkawal menghilangkan tompok keras setempat, meminimumkan penjanaan arka dan zarah semasa larian percikan DC atau RF berkuasa tinggi.
Kekotoran Gas Rendah:Unsur interstisial (Oksigen, Nitrogen, Karbon, Hidrogen) dikawal ketat di bawah 500 ppm untuk mengelakkan pereputan filem dan pancang kerintangan elektrik.
Antara Muka Terma Boleh Dipercayai:Ikatan epoksi indium, elastomer atau perak-menyediakan kekonduksian terma yang tinggi, menghalang sasaran meledingkan dan retak di bawah fluks haba yang tinggi.
Toleransi Pemesinan Tepat:Pengilangan CNC memastikan toleransi kerataan yang ketat (+/- 0.05} mm) dan pemasangan katod yang selamat.
Aplikasi
Semikonduktor & Mikroelektronik:Pemendapan PVD lapisan penghalang, logam sentuhan, dan benih saling bersambung pada wafer silikon.
Salutan Optik:Salutan anti-pantulan (AR), lapisan penapis dan pemendapan kaca-E rendah seni bina melalui percikan magnetron.
Pakai-Tahan & Hiasan:Salutan keras TiN, TiAlN dan TiCN untuk alat pemotong, implan perubatan dan perkakasan elektronik pengguna.
Penyelidikan & Pembangunan:Komposisi aloi tersuai dan saiz butiran yang disesuaikan untuk makmal filem nipis universiti dan korporat-.
Penyesuaian & Pembuatan
Sasaran dibina terus daripada fail CAD pelanggan dan geometri ruang tertentu.
Mencair & Membentuk:Peleburan Aruhan Vakum (VIM) dipasangkan dengan Peleburan Arka Vakum (VAR) memastikan pengasingan yang rendah. Penempaan dan penggulungan panas seterusnya terurai sebagai-dendrit tuang.
Keupayaan Pemesinan:Pengilangan CNC berbilang-paksi, putaran pelarik dan dawai EDM mengendalikan geometri kompleks, saluran penyejukan berulir dan serong tepi tertentu.
Penyepaduan Plat Belakang:-Kemudahan ikatan dalaman menggunakan peralatan pematerian dan penekan vakum untuk menyambung jubin sasaran ke tiub sokongan kuprum atau aluminium, disahkan melalui ujian ricih yang merosakkan dan pengimbasan ultrasonik.
Kawalan Kualiti & Pensijilan
Setiap lot pengeluaran menjalani pemeriksaan rapi sebelum pembungkusan.
Ujian Analitik:Laporan analisis GDMS dibekalkan dengan setiap kelompok untuk mengesahkan tahap kekotoran logam dan interstisial.
Ujian Bukan{0}}Memusnahkan (NDT):Pemeriksaan imbasan C-ulsonik 100% pada pemasangan terikat mengesan penembusan dalaman atau lompang sehingga diameter 2 mm.
Pengesahan Dimensi:Pemeriksaan CMM Laser mencatatkan dimensi pelekap kritikal dan kerataan permukaan.
Pematuhan Standard:Dikilangkan di bawah sistem pengurusan kualiti ISO 9001:2015.
Pembungkusan & Penghantaran
Pengedap vakum:Sasaran dibersihkan, dikeringkan dan dimeterai secara hermetik dalam-beg vakum antistatik di dalam persekitaran bilik bersih Kelas 10,000.
Kusyen Pelindung:Dikemas dalam buih polietilena berketumpatan tinggi (HDPE) -acuan tinggi{1}}tersuai dan peti kayu yang teguh untuk mengelakkan calar permukaan, serpihan tepi dan kejutan transit.
Dokumentasi Penghantaran:Setiap penghantaran termasuk Sijil Analisis (COA), helaian data keselamatan bahan (MSDS) dan laporan pemeriksaan dimensi.
Soalan Lazim
S: Apakah ketulenan maksimum yang tersedia untuk sasaran sputtering titanium?
A: Pengeluaran standard mencapai ketulenan 99.995% (4N5). Gred khusus untuk aplikasi semikonduktor menjalani pengurangan gas terkawal untuk mengekalkan tahap oksigen di bawah 300 ppm.
S: Bagaimanakah anda menghalang pengarkaan semasa-kuasa sputtering tinggi?
J: Arka dikurangkan dengan mengekalkan saiz butiran yang halus dan seragam (< 100 um) and low interstitial gas content. This eliminates localized density variations and inclusion sites that cause plasma discharge instability.
S: Apakah masa pemulihan standard untuk dimensi tersuai?
J: Sasaran planar standard dihantar dalam 2 hingga 3 minggu. Sasaran boleh putar tersuai atau pemasangan yang memerlukan plat sandaran khusus dan ikatan biasanya mengambil masa 4 hingga 6 minggu.
S: Bolehkah anda membekalkan sasaran pra-terikat pada plat sokongan kuprum?
A: Yes. Copper, aluminum, and titanium backing plates are integrated using Indium solder or elastomer bonding, verified by ultrasonic C-scan testing for >95% perlindungan bon.
S: Apakah data yang disertakan dalam Laporan Ujian Bahan (MTR)?
J: Setiap penghantaran termasuk analisis kekotoran kimia GDMS, ukuran ketumpatan, data pengedaran saiz butiran dan peta pemeriksaan ikatan ultrasonik.
S: Adakah anda menandatangani Perjanjian Bukan-Pendedahan (NDA) untuk reka bentuk sasaran proprietari?
A: Ya. Lukisan tersuai, nisbah aloi proprietari dan reka bentuk antara muka katod khusus dilindungi di bawah NDA korporat standard sebelum semakan teknikal.
Minta Sebut Harga
Sediakan dimensi sasaran, gred ketulenan, kuantiti dan keperluan plat belakang anda untuk menerima sebut harga teknikal rasmi dan anggaran masa pendahuluan dalam masa 24 jam.
[Serahkan RFQ / Muat Naik Lukisan]
Cool tags: sasaran sputtering titanium tersuai, sasaran sputtering titanium tersuai China pengeluar, pembekal, kilang