Gambaran Keseluruhan Produk
Sasaran Sputtering Titanium Bulat berfungsi sebagai-bahan sumber katod ketulenan tinggi untuk sistem pemendapan wap (PVD) magnetron dan sistem pemendapan wap fizikal. Dicipta daripada jongkong titanium cair-vakum, sasaran bulat ini memberikan struktur mikro yang seragam untuk memastikan nyahcas plasma yang stabil, kadar pertumbuhan filem nipis-yang boleh diramal dan kekonduksian elektrik yang konsisten merentas garisan salutan semikonduktor, optik dan hiasan.
Spesifikasi Teknikal
|
Kesucian |
Gred 1 (99.5%), Gred 2 (99.7%), 99.9% (3N), 99.95% (3N5), 99.99% (4N), 99.995% (4N5) |
|
Diameter Piawai |
2 inci hingga 16 inci (dimensi tersuai tersedia atas permintaan) |
|
Julat Ketebalan |
3 mm hingga 20 mm |
|
Struktur mikro |
Saiz bijian purata < 100 um dengan taburan bijian sama |
|
Ketumpatan |
> 4.51 g/cm3 (>99.5% ketumpatan teori) |
|
Bahan Plat Sandaran |
Kuprum (OFHC), Oksigen-kuprum bebas atau Aluminium (Indium atau ikatan elastomer tersedia) |
|
Kemasan Permukaan |
Dimesin, dilapik, atau digilap (Ra<= 0.4 um), vacuum-cleaned and vacuum-packed |
Ciri-ciri Utama
Saiz Bijirin Halus & Seragam:Pemprosesan termo-mekanikal terkawal menghalang pemanasan lampau setempat, mengurangkan penjanaan zarah dan kecacatan lubang jarum semasa-pemendapan kuasa tinggi.
Kekotoran Gas Rendah:Paras interstisial terkawal oksigen, nitrogen, karbon dan hidrogen meminimumkan mikro-arka di dalam ruang vakum.
Kekuatan Ikatan Metalurgi Tinggi:Pengimbasan ultrasonik mengesahkan > liputan ikatan 95% antara jubin sasaran titanium dan plat sandaran tembaga, memastikan pemindahan haba dan elektrik yang optimum.
Toleransi Dimensi Tepat:Pemesinan CNC mengekalkan toleransi diameter luar dan ketebalan dalam +/- 0.1 mm untuk pemasangan sistem yang tepat.
Aplikasi
Semikonduktor & Mikroelektronik:Pemendapan elektrod gerbang, halangan resapan dan lapisan benih untuk litar bersepadu.
Salutan Optik:Salutan anti-pantulan (AR), penapis optik dan peningkatan kanta ketepatan.
Kaca Seni Bina & Automotif:Salutan-emisitiviti rendah (Rendah-E) dan filem kawalan suria untuk kaca yang cekap tenaga-.
Hiasan & Tahan Pakai-PVD Tahan:Lapisan berfungsi Titanium nitride (TiN) atau titanium carbo-nitride (TiCN) untuk perkakasan, jam tangan dan alat pemotong.
Penyesuaian & Pembuatan
Pengeluaran menggunakan peleburan aruhan vakum (VIM), peleburan semula arka vakum (VAR), penempaan berbilang-arah dan gelek ketepatan. Laluan pemprosesan ini memecahkan struktur tuangan untuk menghapuskan rongga pengecutan dalaman.
Geometri Tersuai:Tepi berpijak, serong, lubang penyejuk berulir dan diameter bukan{0}}piawai dipetakan pada senapang katod tertentu (cth, Angstrom Sciences, AJA International, Lesker).
Perkhidmatan Ikatan:Ikatan indium dan ikatan elastomer dilaksanakan dalam-rumah untuk menahan ketumpatan kuasa tinggi tanpa nyah ikatan terma.
Kawalan Kualiti & Pensijilan
Analisis Kimia:Spektrometri Jisim Plasma Berganding Secara Induktif (ICP-MS) dan Spektrometri Jisim Nyahcas Cahaya (GDMS) mengesahkan kesan kepekatan unsur logam dan interstisial. Setiap kumpulan dihantar dengan Sijil Analisis (CoA) khusus.
Ujian Bukan{0}}Memusnahkan (NDT):Pemeriksaan imbasan C-ultrasonik menilai integriti ikatan antara sasaran dan plat belakang, menyaring untuk lompang dalaman atau penepian.
Peperiksaan Metalografi:Mikroskopi optik mengesahkan taburan saiz butiran dan kehomogenan fasa.
Pematuhan Standard:Dikilangkan di bawah sistem pengurusan kualiti ISO 9001:2015.
Pembungkusan & Penghantaran
Pembungkusan Utama:Bilik bersih-vakum gred-beg polietilena berkembar bertutup yang diisi dengan gas argon lengai.
Pembungkusan Sekunder:Acuan buih EPE penyerap kejutan yang digantung-ditempatkan di dalam peti papan lapis eksport tugas berat-untuk mengelakkan serpihan tepi atau calar permukaan semasa transit.
Dokumentasi Termasuk:Sijil Analisis, Helaian Data Keselamatan Bahan (MSDS) dan laporan pemeriksaan dimensi.
Soalan Lazim
S: Apakah tahap ketulenan yang perlu saya pilih untuk aplikasi optik berbanding PVD hiasan?
J: Aplikasi filem optik-nipis biasanya memerlukan ketulenan 99.99% (4N) atau lebih tinggi untuk menghapuskan kesan rangkuman logam yang menyebabkan penyerapan atau penyerakan cahaya. Garis salutan hiasan yang memproses lapisan berfungsi seperti TiN biasanya menggunakan ketulenan 99.9% (3N) untuk mengimbangi kestabilan pemendapan dengan kecekapan kos bahan.
S: Bagaimanakah anda menghalang keretakan sasaran semasa-kuasa impuls magnetron sputtering tinggi (HiPIMS)?
J: Retak sasaran dikurangkan melalui tempaan berbilang-arah dan hantaran bersilang-yang ketat yang memastikan struktur butiran halus terhablur semula sepenuhnya di bawah 100 um. Orientasi kristal seragam ini mengagihkan tegasan haba secara sama rata di bawah ketumpatan kuasa tinggi.
S: Apakah ketumpatan kuasa maksimum untuk sasaran terikat berbanding sasaran monolitik tidak terikat?
J: Sasaran monolitik tidak terikat biasanya terhad kepada ketumpatan kuasa yang lebih rendah disebabkan oleh rintangan haba merentasi celah udara antara sasaran dan sandaran katod. Sasaran terikat yang menggunakan antara muka Indium atau elastomer boleh mengendalikan beban kuasa yang lebih tinggi (melebihi 15 W/cm2) dengan syarat aliran air sejuk yang cekap dikekalkan.
S: Bolehkah anda memadankan lukisan plat belakang tersuai untuk sistem sputtering warisan atau proprietari?
A: Ya. Pengeluaran menampung reka bentuk plat belakang tersuai. Kejuruteraan menyemak lukisan STEP, IGES atau 2D PDF untuk memadankan-konfigurasi saluran air tertentu,-peletakan alur cincin O dan-keperluan corak bolt.
S: Apakah kaedah ujian yang mengesahkan integriti ikatan sasaran yang dipateri?
A: Ujian ultrasonik C-imbasan tidak-memusnahkan memeriksa keseluruhan antara muka ikatan. Mana-mana kawasan tidak terikat setempat atau lompang melebihi 5% daripada jumlah luas permukaan atau mana-mana lompang tunggal yang lebih besar daripada 5 mm mengakibatkan penolakan.
S: Apakah masa utama standard untuk pesanan prototaip dan kumpulan pengeluaran?
A: Dimensi stok standard dihantar dalam masa 3 hingga 5 hari perniagaan. -sasaran mesin tersuai atau pemasangan terikat memerlukan 2 hingga 3 minggu, bergantung pada ketersediaan bahan dan kerumitan konfigurasi plat belakang.
Minta Sebut Harga
Serahkan spesifikasi sasaran (ketulenan, dimensi, kuantiti, keperluan plat belakang dan model katod sasaran) untuk menerima sebut harga rasmi dan helaian data bahan dalam masa 24 jam perniagaan.
Cool tags: sasaran sputtering titanium bulat, sasaran sputtering titanium bulat China pengeluar, pembekal, kilang