8613809172622
info@zctitanium.com
myBahasa
Cari

Sasaran Sputtering Titanium

Rumah / Produk / Sasaran Sputtering Titanium
Gambaran Keseluruhan Produk

 

Sasaran Sputtering Titanium ialah-bahan boleh guna ketulenan tinggi yang digunakan dalam sistem Pemendapan Wap Fizikal (PVD) untuk mendepositkan filem kompaun titanium atau titanium-tipis pada substrat. Dicipta untuk kadar sputtering seragam dan penjanaan kecacatan yang minimum, sasaran kami menyokong -daya impuls magnetron sputtering (HIPIMS) dan persediaan magnetron DC/RF merentas garisan salutan semikonduktor, optik dan hiasan.

 
 
Spesifikasi Teknikal

 

Parameter

Julat Spesifikasi

Kesucian Bahan

99.9% (3N) hingga 99.999% (5N)

Gred Standard

ASTM B348 Gred 1 / Gred 2 (CP Ti), Aloi Titanium (cth, TiAl, TiSi)

Ketumpatan

>= 4.51 g/cm3 (>99.5% ketumpatan teori, diukur melalui prinsip Archimedes)

Saiz Bijian Purata

< 100 um (fine, equiaxed microstructure)

Dimensi (Planar)

Panjang sehingga 3000 mm, Lebar hingga 800 mm, Ketebalan 3-25 mm

Dimensi (Boleh Diputar)

Diameter Luar sehingga 400 mm, Panjang hingga 4000 mm

Plat Belakang

OFHC Copper (C10200 / C11000) atau Aluminium (6061)

Teknologi Ikatan

Ikatan indium, Ikatan Elastomer, atau Ikatan resapan (Kadar lompang < 1%)

 

Ciri-ciri Utama

Struktur Mikro Halus

Pemprosesan termo{0}}mekanikal terkawal menghasilkan saiz butiran purata di bawah 100 um, memastikan profil hakisan seragam dan menghalang sputtering keutamaan.

Kawalan Ketulenan Gas

Proses peleburan aruhan vakum (VIM) dan pancaran elektron (EBM) memastikan kekotoran gas celahan (O, N, H, C) diminimumkan dengan ketat.

Ikatan Kekonduksian Terma Tinggi

Resapan atau ikatan indium pada plat sokongan kuprum OFHC menghalang peledingan sasaran dan keretakan pramatang di bawah pelepasan plasma berketumpatan tinggi-

Penjanaan Zarah Rendah

Ketumpatan tinggi dan ketiadaan lompang mikro-dalaman menyekat pembentukan arka dan nodul semasa salutan yang lama dijalankan.

 

Aplikasi
 

Semikonduktor & Mikroelektronik

 

Pemendapan lapisan penghalang, lapisan sentuhan dan lapisan benih saling bersambung dalam fabrikasi IC.

Paparan Panel Rata (OLED/LCD)

 

Pembentukan lapisan transistor filem (TFT) konduktif dan piksel{0}}pemacu nipis-.

Salutan Optik

 

Salutan anti-pantulan (AR), lapisan penapis dan pembuatan kaca Low-E seni bina.

Pakai-Salutan Keras Tahan & Hiasan

Pemendapan TiN, TiCN dan TiAlN pada alat pemotong, komponen automotif dan perkakasan kebersihan.

 

 

Penyesuaian & Pembuatan

Laluan Pengilangan:Vacuum Melting -> Hot Isostatic Pressing (HIP) / Multi-step Forging -> Precision Machining -> Non-Destructive Testing ->Ikatan.


Keupayaan Tersuai:Geometri tersuai (segi empat tepat, bulat, bersegmen, boleh diputar), reka bentuk saluran penyejukan plat belakang tersuai, dan keperluan orientasi butiran khusus.


Pemesinan Dalam Rumah:-Pengilangan dan pemutaran CNC mencapai toleransi dimensi dalam +/- 0.1 mm dan kekasaran permukaan hingga ke Ra 0.4 um.

Grade 2 Titanium Plate

 

Kawalan Kualiti & Pensijilan

Ujian Analitik

Spektrometri Jisim Pelepasan Cahaya (GDMS) untuk analisis unsur surih; Penganalisis gas LECO untuk kuantifikasi oksigen, nitrogen dan hidrogen.

Pemeriksaan Struktur

Ujian ultrasonik (UT) dilakukan pada 100% sasaran terikat untuk mengesahkan integriti ikatan dan mengesan lompang antara muka.

Kebolehkesanan

Setiap sasaran dihantar dengan Sijil Analisis (COA) yang memperincikan ketulenan kumpulan yang tepat, pecahan ppm kekotoran dan keputusan ujian ketumpatan.

 

Pembungkusan & Penghantaran

 

 

Pembungkusan

Vakum-dimeterai dalam beg polietilena anti-statik, padat dengan-buih penyerap kejutan di dalam peti kayu gred eksport-untuk mengelakkan pengoksidaan transit dan kerosakan mekanikal.

 

Masa Utama

2 hingga 3 minggu untuk dimensi planar standard; 4 hingga 6 minggu untuk konfigurasi tersuai boleh diputar atau difusi-ikatan.

 

Syarat Penghantaran

FOB, CIF atau DDP melalui pengangkutan udara atau laut.

 

 

 

Soalan Lazim

 

 

S: Apakah gred ketulenan yang diperlukan untuk aplikasi semikonduktor berbanding salutan hiasan?

J: Aplikasi semikonduktor secara amnya memerlukan ketulenan 99.995% (4N5) hingga 99.999% (5N) untuk mengelakkan kesan pencemaran logam daripada mengubah sifat elektrik. Aplikasi salutan keras hiasan dan tahan haus-biasanya menggunakan 99.9% (3N) hingga 99.95% ketulenan, mengimbangi kos dan prestasi fungsi.

S: Bagaimanakah anda menghalang keretakan sasaran semasa-percikan kuasa tinggi?

J: Keretakan sasaran dikurangkan dengan mengekalkan saiz butiran yang halus dan seragam (< 100 um), high theoretical density (>99.5%) dan menggunakan resapan teguh-terikat atau indium-plat sandaran tembaga OFHC yang dapat menghilangkan beban terma dengan cekap.

S: Apakah kadar kekosongan ikatan maksimum yang anda jamin?

J: Kami menjamin kadar kekosongan ikatan antara muka kurang daripada 1% daripada jumlah luas permukaan terikat, disahkan melalui pengimejan imbasan C{1}}ulsonik sebelum penghantaran, menghalang pemanasan lampau setempat dan penyingkiran sasaran.

S: Bolehkah anda mengeluarkan sasaran bersegmen untuk ruang salutan yang besar?

A: Ya. Kami mengarang-kawasan yang besar dan sasaran boleh diputar dalam segmen modular yang saling mengunci direka untuk pemasangan lancar dalam kaca seni bina dan garisan salutan paparan.

S: Apakah maklumat yang diperlukan untuk meminta sebut harga sasaran tersuai?

J: Sila berikan model sistem PVD anda jika diketahui, geometri sasaran (planar atau boleh diputar), dimensi tepat (panjang, lebar, ketebalan atau diameter luar), gred ketulenan bahan, keperluan bahan plat belakang dan anggaran volum penggunaan tahunan.

S: Bagaimanakah sasaran dibersihkan dan dibungkus sebelum penghantaran?

J: Sasaran menjalani pembersihan ultrasonik dalam pelarut ultra-tulen untuk membuang sisa pemesinan, divakum-ditutup dalam persekitaran bilik bersih dengan bahan pengering dan dibungkus dalam bekas kayu-bersih atau berat-berat.

 

modular-1
Minta Sebut Harga

Untuk menerima cadangan teknikal dan sebut harga bagi sistem pemendapan khusus anda, sila nyatakan model sistem PVD anda, ketulenan yang diperlukan, dimensi dan anggaran kuantiti. Pasukan kejuruteraan kami bertindak balas dalam masa 24 jam perniagaan dengan ketersediaan bahan dan jadual penghantaran.

Kami pengilang dan pembekal sasaran sputtering titanium profesional di China, khusus dalam menyediakan perkhidmatan tersuai berkualiti tinggi. Sila berasa bebas untuk membeli sasaran titanium sputtering diskaun dalam stok di sini dan dapatkan sampel percuma dari kilang kami. Untuk rundingan harga, hubungi kami.