Sasaran Sputtering Titanium

item

Spesifikasi

bahan

Titanium tulen secara komersial (Gred 1, Gred 2) atau aloi titanium

Kesucian

3N5 (99.95%), 4N (99.99%), 4N5 (99.995%), 5N (99.999%) untuk semikonduktor

Ketumpatan

Lebih besar daripada atau sama dengan 4.51 g/cm³

Kekotoran Terkawal

Fe, Cr, Ni, O, N, C, H (terkawal setiap gred ketulenan)

bentuk

Profil tersuai bulat, segi empat tepat, berputar (silinder).

Saiz

Ø50 – Ø300 mm, ketebalan 3–10 mm, panjang: 4000 mm

Pilihan Ikatan

Plat penyokong tembaga atau aluminium, pengapit mekanikal, monolitik

Kemasan Permukaan

Dimesin, diletupkan pasir, digilap, asid-dibersihkan, dibungkus dengan vakum

Tidak.

bahan

Komposisi

Ciri-ciri Utama

Aplikasi Biasa

1

CP Titanium (Gr1 / Gr2)

Lebih besar daripada atau sama dengan 99.5% Ti

Kekotoran rendah, sputtering stabil

Elektronik, salutan hiasan

2

Titanium Ketulenan Tinggi (4N / 5N)

Lebih besar daripada atau sama dengan 99.99% Ti

Filem ultra-bersih

Semikonduktor, salutan optik

3

Sasaran Ti-6Al-4V

Ti-6Al-4V

Pemendapan filem aloi, kekuatan tinggi

Salutan fungsional dan struktur

4

Sasaran TiAl / TiAl₃

30–50% Al

Menghasilkan salutan super-keras TiAlN

Alat pemotong, acuan

5

Sasaran Seramik TiN

Ti + N

Menyimpan filem TiN{0}}berwarna emas

Rintangan haus, salutan hiasan

6

Sasaran TiSi₂

Ti:Si ≈ 1:2

Filem silisid kerintangan rendah

Kenalan dan pintu semikonduktor